氧化锌铝（ZAO）靶材的制备及性能研究

摘要

采用冷等静压成型（CIP）、低真空烧结和热等静压（HIP）烧结技术制备ZAO靶材，采用排水法、SEM、XRD、光谱发射法（ICPOES）分析了2种烧结方法制备的ZAO靶材的密度、结晶状态和组织成分。结果表明，ZAO细粉经压力造粒后，CIP成型压坯相对密度可达75％以上，该压坯经低真空高温烧结，相对密度达到95％，而采用HIP低温烧结的靶材可达到98％以上，靶材结晶完整，组织成分均匀。