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微机械梳状陀螺仪主要参数优化设计分析

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摘要

利用CoventorWare软件的微机械陀螺仪谐振器系统模型,对其主要参数进行了优化设计,采用交流小信号分析的方法,使驱动模态和检测模态的频率相匹配,提高了陀螺仪的性能,降低了交叉耦合的误差.

著录项

来源
《机床与液压》 |2008年第8期|53-56|共4页
作者
刘凤丽; 郝永平; 王士伟;
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作者单位

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心,沈阳,110168;

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心,沈阳,110168;

沈阳理工大学CAD/CAM技术研究与开发中心,沈阳,110168;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微陀螺仪; 灵敏度; 模态; 优化设计;

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