在柔性基底上沉积金属薄膜厚度的在线测量

摘要

在柔性基底金属薄膜的各项参数中,镀层的厚度是最重要的参量.但由于直接测量膜厚非常困难而且成本极高,所以常用的方法是通过测量方阻来间接反映膜厚.介绍了在线方阻测量的原理,并对其国内外发展现状予以综述,提出了一套在线方阻测量的方法,确定了在线方阻测量的结构,最后给出了确定金属薄膜在线方阻值的方法.