微量特种气体的FT-IR定量分析

摘要

利用傅立叶变换红外光谱法对微量一氧化氮、二氧化氮、氧化亚氮、氨气、氯化氢、二氧化硫、二氯氢硅、三氯氢硅、四氯化硅等使用常规方法分析难度大、灵敏度不足、操作复杂的气体样品进行了定量分析.在恒定实验条件下进样,分辨率为4 cm-1,扫描8次,可以得到理想的分析结果.以氨气、一氧化氮和二氧化氮为例的定量分析结果表明,该方法重复性良好(相对标准偏差＜1%),在所测浓度范围内线性良好(R2＞0.999),扩展不确定度小(＜4%),可用于某些具有红外吸收气体物质的定量分析,为这些难定量物质的准确定量提供了可靠的方法.