水平式MOCVD系统生长速率均匀性的研究

摘要

本文讨论了影响生长速率的因素，如主载气流量、金属有机源流量（在一定蒸汽压下），衬底放置位置，及掺杂和非掺杂情况等。对实验结果进行了讨论，并与其它文献进行了比较。着重阐述了改善侧向均匀性问题。