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InSb的激光划片研究

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摘要

研究了对InSb的激光划片过程,得出了刻槽深度和宽度随着脉冲重复频率、工作电流和刻划速度的变化规率.

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来源
《激光与红外》|1999年第2期|88-91|共4页
作者
齐军; 王昆林; 梁绵长; 朱允明; 方鸣岗; 虞孝舜;
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作者单位

清华大学机械系,北京,100084;

清华大学机械系,北京,100084;

清华大学机械系,北京,100084;

澳门大学科技学院;

华北光电技术研究所,北京,100015;

华北光电技术研究所,北京,100015;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光电子技术、激光技术;
关键词
InSb晶片; 激光划片; 脉冲频率;

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