激光脉冲重复频率对InSb划片的影响

摘要

激光划片是半民地体工业中一种有效的划片方法。目前在半导体材料划片中多采用调ＱＮｄ：ＹＡＧ激光器。脉冲重复频率是这种激光器的一个重要参数，它影响着激光器的平均输出功率、脉冲峰值以及脉冲宽度等特性。因此，脉冲重复频率对激光划片效果有重要影响。他利用调ＱＮｄ：ＹＡＧ激光对ＩｎＳｂ的激光划片，得出了刻槽深度和宽度与脉冲重复频率之间的关系，还从理论上探讨了划时激光束和材料的相互作用过程，分析了各种刻槽形成的