台式钨灯丝扫描电镜的日常维护及故障排查

摘要

钨灯丝扫描电镜作为常规的大型精密分析仪器,在运行过程中常常会出现一些设备故障.因此需要做好扫描电镜日常的维护工作,延长部件的使用寿命,提升电镜的使用性能.以Tescan公司的Vega3台式扫描电子显微镜为例,主要介绍了该台钨灯丝扫描电镜电子枪系统、 真空系统和EDS能谱等部件的保养措施,并介绍了电镜两例常见故障及排查处理方法.