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肖夏; 白茂森; 李志国; 姚素英;
天津大学电子信息工程学院;
声表面波; 低介电常数薄膜; 杨氏模量; 信号处理; 最小二乘法;
机译:紫外线和硅烷化处理提高中孔纯硅沸石低介电常数薄膜的杨氏模量
机译:宽带DCC / LD LSAW法测定低k多孔膜的杨氏模量
机译:使用改进的胶带测试法测量薄膜对多孔低介电常数薄膜的粘附力
机译:用于层间电介质的低介电常数新型周期性介孔有机硅薄膜
机译:低介电常数电介质中电致伸缩的直接和相反测量。
机译:集成激光诱导的压电/差分共焦表面声波系统用于测量薄膜杨氏模量
机译:低介电常数siO2气凝胶薄膜在金属间电介质中的应用
机译:用于硅基微电子学的新型低介电常数电介质
机译:低介电常数薄膜材料,低介电常数薄膜,低介电常数薄膜的制造方法及半导体装置
机译:由组成低介电常数薄膜和具有该低介电常数薄膜的电子零件形成低介电常数薄膜的组成方法
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