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【2h】

Application of SiO2 aerogel film with low dielectric constant to intermetal dielectrics

机译：低介电常数siO2气凝胶薄膜在金属间电介质中的应用

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Moon-Ho Jo; Jung-Kyun Hong; Hyung-Ho Park; Joong-Jung Kim; Sang-Hoon Hyun; Se-Young Choi;
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年度 1997
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