基于分数阶PID及内模原理的长行程直线电机控制系统设计

摘要

为了对长行程直线电机进行精确伺服控制,提出了一种结合分数阶PID及内模控制原理的控制系统.以内模控制器作为电流环控制器、分数阶PID作为位置环控制器,在简化了控制器设计、降低调试难度的同时,保证了跟踪精度.最后,对长行程直线电机驱动的光刻机掩模台宏动台进行了仿真验证,验证了所提出的控制策略的有效性.