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InGaAs/InP量子阱材料生长后置无序技术的研究

     

摘要

研究了氖离子注入诱导InGaAs/InP量子阱材料带隙变化的规律. 研究结果表明,由氖离子注入引起量子阱带隙蓝移. 蓝移的大小与量子阱的宽度,阱距表面深度,注入离子剂量,能量,及退火条件有关. 研究所得的参数对设计量子阱集成光器件有重要参考价值.

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