氖离子注入诱导ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＰ量子阱材料带隙变化的研究

摘要

研究了氖离子注入诱导ＩｎＧａＡｓ／ＩｎＰ量子阱材料带隙变化的规律。研究结果表明，由氖离子注入引起量子阱带隙蓝移。蓝移的大小与量子阱的宽度，阱距表面深度，注入离子剂量，能量，及退火条件有关。研究所得的参数对设计量子阱庥成光器件有重要参考价值。