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杨波; 周百令;
东南大学仪器科学与工程系;
硅微陀螺仪; 自激驱动; 接口线路;
机译:真空封装在芯片微腔中的多晶硅振动陀螺仪
机译:结合硅场致发射体阵列和钛吸气剂的局部微真空封装的制作
机译:真空封装MEMS陀螺仪架构的温度稳定性研究
机译:不含真空封装的耐频率失配硅振动陀螺仪,用于汽车应用
机译:速率积分陀螺仪的微玻璃吹制范例
机译:基于微通道和微引脚芯片的硅与硅直接粘接的微通道和微销翅片的实验研究
机译:外延硅微壳真空封装的CMOS兼容200 MHz体模谐振器
机译:用于微空间飞行器的封装硅mEms振动陀螺仪
机译:集成硅微真空封装的红外设备
机译:由硅生产的微技术对称振动陀螺仪传感器
机译:环氧封端有机硅处理微硅的合成方法及微硅和微硅复合材料
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