首页> 外文OA文献 >Epitaxial silicon microshell vacuum-encapsulated CMOS-compatible 200 MHz bulk-mode resonator

【2h】

Epitaxial silicon microshell vacuum-encapsulated CMOS-compatible 200 MHz bulk-mode resonator

机译：外延硅微壳真空封装的CMOS兼容200 MHz体模谐振器

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Kuan-lin Chen; Hengky Ch; Andrew B. Graham; Sunil A. Bhave; Roger T. Howe; Thomas W. Kenny;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2009
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. Ultraclean wafer-level vacuum-encapsulated silicon ring resonators for timing and frequency references [J] . George Xereas, Vamsy P. Chodavarapu Journal of microanolithography, MEMS, and MOEMS . 2016,第3期

机译：超净晶圆级真空封装的硅环谐振器，用于定时和频率参考
2. Nonlinearity of Degenerately Doped Bulk-Mode Silicon MEMS Resonators [J] . Yushi Yang, Eldwin J. Ng, Pavel M. Polunin, Journal of Microelectromechanical Systems . 2016,第5期

机译：简并掺杂的体模硅MEMS谐振器的非线性
3. Differential-capacitive-input and differential-piezoresistive-output enhanced transduction of a silicon bulk-mode microelectromechanical resonator [J] . Cheng Tu, Haoshen Zhu, Yuanjie Xu, Sensors and Actuators, A. Physical . 2014,第Null期

机译：硅体模微机电谐振器的差分电容输入和差分压阻输出增强型转换
4. Epitaxial Silicon Microshell Vacuum-Encapsulated CMOS-Compatible 200 MHz Bulk-Mode Resonator [C] . Chen Kuan-Lin, Chandrahalim Hengky, Graham Andrew B., International Conference on Micro Electro Mechanical Systems . 2009

机译：外延硅MicroShell真空封装的CMOS兼容的200 MHz散装模式谐振器
5. A 200-833 MHz delay locked loop for DDR memory applications. [D] . Delaney, Brett Patrick. 2016

机译：用于DDR存储器应用的200-833 MHz延迟锁定环。
6. Ultracompact CMOS-compatible optical logic using carrier depletion in microdisk resonators [O] . Dusan Gostimirovic, Winnie N. Ye -1

机译：使用微盘谐振器中的载流子耗尽的超紧凑型CMOS兼容光学逻辑
7. Electrostatically driven vacuum-encapsulated polysilicon resonators part I. design and fabrication [O] . Legtenberg, R., Legtenberg, Rob, Tilmans, H.A.C., 1994

机译：静电驱动真空封装的多晶硅谐振器第一部分。设计与制造

Epitaxial silicon microshell vacuum-encapsulated CMOS-compatible 200 MHz bulk-mode resonator

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅