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孙刚; 辛煜; 卢春山;
苏州大学物理与科学技术学院,江苏苏州215016;
江苏省薄膜材料重点实验室,江苏苏州215006;
微感应耦合等离子体射流源; 类金刚石薄膜; Raman光谱; 光学带隙;
机译:使用宽而均匀的离子束从RF电感耦合CH {sub} 4-等离子体源沉积的类金刚石碳膜
机译:使用RF电感耦合CH {sub} 4-等离子源沉积的类金刚石碳膜的场发射
机译:类金刚石碳膜的射频感应耦合等离子体增强化学气相沉积工艺的优化
机译:用于沉积碳纳米管的ECR等离子体源的研究类金刚石碳膜
机译:射频感应耦合等离子体沉积的类金刚石碳膜的表征和优化显微硬度
机译:环境气体和压力在脉冲激光沉积合成硬质类金刚石碳膜的结构中的作用
机译:射频电感耦合等离子体在金刚石状碳膜的化学气相沉积过程中的应用,用于改性沉积膜的性能
机译:通过过滤碳真空电弧沉积的超薄类金刚石碳膜
机译:一种在基板上共沉积爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的方法以及包括爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的复合膜
机译:将爆轰纳米金刚石和类金刚石碳共沉积到包含爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的基质和复合膜上的方法
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