Case Western Reserve University;
机译:使用宽而均匀的离子束从RF电感耦合CH {sub} 4-等离子体源沉积的类金刚石碳膜
机译:使用RF电感耦合CH {sub} 4-等离子源沉积的类金刚石碳膜的场发射
机译:电感耦合和电容耦合等离子体沉积的碳氟化合物薄膜的磨损特性
机译:等离子体处理对电感耦合等离子体化学气相沉积沉积低介电常数氟化非晶碳膜结构和电性能的影响
机译:在感应耦合的改性气态电子会议(mGEC)反应器中研究碳氟化合物等离子体中的气相,表面化学和等离子体-表面相互作用。
机译:面向生物医学设备的高性能涂层:等离子体沉积碳氟化合物薄膜和PBS中老化的研究
机译:射频电感耦合等离子体在金刚石状碳膜的化学气相沉积过程中的应用,用于改性沉积膜的性能