准互补屏衍射在细丝直径测量中的误差研究

摘要

本文根据Ｂａｂｉｎｅｔ原理，将单链作为细丝的准互补屏，用Ｆｒａｕｎｈｏｆｅｒ单缝衍射来讨论细丝直径及微小尺寸的测量，并讨论衍射角的大小对系统误差的影响，采用近似处理方法导出比较准确的测量公式，对测量的正确度问题也进行了深入的分析，指出要获得正确的测量结果除了要有Ｆｒａｕｎｈｏｆｅｒ的近似条件外，最大衍射角也必须在一定范围内。并且还讨论了利散射理论和准互补屏衍射之间的差异及引起的误差情况。