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李金华; 林成鲁; 林梓鑫; 薛才广; 邹世昌;
常州半导体厂;
中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室;
SOI制备; 高温氢气; 结构; 损伤;
机译:高温氧注入形成SIMOX-SOI结构
机译:基于SIMOX SOI晶片的高温压力传感器仪表芯片的微加工工艺
机译:SIMOX SOI完全耗尽n-MOSFET中的高温扭结效应与掩埋氧化物的偏置温度不稳定性的关联
机译:用SDB和SIMOX制作具有双SOI结构的高温压力传感器。
机译:SOI形成的扭曲型Si双晶中的晶界结构和高电流密度在SOI中激活掺杂剂。
机译:高温合成对石墨相氮化碳结构及其产氢能力的影响
机译:SOI结构上高温压力传感器的开发
机译:用光学方法研究超音速高温气流中的三维氢火焰结构
机译:通过SIMOX和键合SOI的高温氧化在SOI中进行自我调节的厚度均匀性
机译:用于制造SIMOX SOI晶片的高温多退火炉
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