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用射频偏压溅射制备的具有快速紫外光响应的ZnO薄膜

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用射频偏压溅射在较高氧压下沉积的六角密排结构的Ｃ轴平行于衬底的混合晶向结构的多晶ＺｎＯ薄膜，对紫外光的照射有较快的光响应．在此ＺｎＯ膜上再沉积层氮掺杂的ＺｎＯ膜，可使其光响应得以大大改善．

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来源
《半导体学报》 |1995年第10期|779-782|共4页
作者
张德恒; Brod.; DE;
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作者单位

山东大学电子工程系;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.21;
关键词
氧化锌薄膜; 射频偏压溅射; 紧外光响应;

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