用射频溅射方法制备的多晶ZnO薄膜的光响应与其结构变化

摘要

用射频溅射方法在较高氧压下沉积的多晶的ＺｎＯ薄膜，其光响应主要由两部分组成：第一部分来源于膜内晶粒界面所吸附氧原子的光脱附，该部分光响应可使膜的电导率增加两个数量级且响应速度较快；第二部分来源于薄膜表面所吸附氧原子的光脱附，此光响应可使膜的电导率增加４－５个数量级，但响应速度非常缓慢。两部分光响应都来自薄膜的结构变化，膜的结构变化与膜所处环境中气体的种类，压强以及膜的温度有关。