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第一章概述
第二章试样的制备及性能测试方法
第三章ZnO薄膜的制备及后处理影响
第四章Al掺杂ZnO(ZAO)薄膜的制备及后处理影响
第五章全文结论
参考文献
攻读硕士期间发表论文
汪冬梅;
合肥工业大学;
ZnO薄膜; ZAO薄膜; 射频磁控溅射; 透光率; 电阻率; 功能材料;
机译:射频磁控溅射制备Al掺杂ZnO薄膜的结构与性能
机译:射频磁控溅射制备Al掺杂ZnO薄膜的晶体结构与电性能的关系
机译:衬底温度对直流磁控溅射制备ZnO和Al掺杂ZnO薄膜的结构和光学性能的影响
机译:使用ZnO / MgO / Al_2O_3靶通过射频磁控溅射制备的Al掺杂MgZnO薄膜的物理性质
机译:使用不平衡磁控溅射制造适用于薄膜晶体管的掺镓ZNO薄膜。
机译:射频磁控溅射制备(MgAl)共掺杂ZnO薄膜的光电性能研究与研究
机译:在射频磁控溅射过程中通过调整直流偏置电压来增强al掺杂ZnO薄膜的电学性能
机译:用于下一代显示器的原子层沉积制备的高性能和高可靠性ZnO薄膜晶体管。
机译:ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管的制造方法,ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管
机译:制备Al掺杂的ZnO薄膜的方法
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