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刘丰珍; 朱美芳; 冯勇; 刘金龙; 汪六九; 韩一琴;
中国科学院研究生院物理系;
等离子体-热丝CVD; 多晶硅薄膜; 光学性质; 薄膜结构;
机译:快速热退火时间对热丝辅助等离子体增强化学气相沉积技术制备的Au / SiO_x薄膜的影响
机译:通过Cat-CVD非晶硅薄膜的快速热退火制备的具有长载流子寿命的多晶硅膜
机译:快速热CVD制备的多晶硅硅薄膜和太阳能电池
机译:热丝等离子体辅助技术制备纳米/非晶硅薄膜的性能
机译:类热等离子体放电对金刚石薄膜的微波辅助等离子体CVD
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:在热丝辅助CVD中聚晶金刚石薄膜生长期间对薄膜质量的原位监测
机译:热丝CVD法制备金刚石薄膜
机译:卤化钽前驱体等离子体处理的TaN薄膜的热CVD
机译:热等离子体CVD沉积硅薄膜的方法和装置
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