Pb(Zr_(0.6)Ti_(0.4))O_3/LaNiO_3铁电电容的制备及其疲劳特性

摘要

以 L a Ni O3( L NO)为独立下电极 ,制备出 Au( Cr) / PZT/ L NO/ Si O2 结构的铁电电容 ,与使用 Pt下电极对比 ,其抗疲劳特性得到了极大的改善 .在 1MHz频率 10 V电压下 ,经过 10 1 1 次脉冲反转 ,其 ( P* - P^ )仅下降了 11%左右 ,这主要是由于使用氧化物电极可以极大地降低 PZT与电极界面处的氧空位的形成和积聚 .通过不同频率和相同频率不同脉冲宽度条件下疲劳特性的测试 ,观察到随着测试频率的升高 ,抗疲劳特性也随之提高 ;在相同频率下 ,随着测试脉宽的加大 ,疲劳现象加剧 ;同时 。