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贾孟军; 李昕欣; 宋朝晖; 王跃林;
中国科学院研究生院;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室;
MEMS; 冲击加速度开关; 开关点电可调节; 锁定; 机电耦合;
机译:基于MEMS基于机械冲击的高G加速度阈值开关的响应分析
机译:研究冲击加速度特性对拟议的MEMS惯性开关性能的影响
机译:使用MEMS数模转换器的具有可调节加速度阈值的新型惯性开关
机译:双向MEMS冲击加速度开关
机译:用于质量和加速度检测的混合MEMS传感器和开关的动力学特性。
机译:反向超高g加速度下基于MEMS的惯性微动开关的抗震性
机译:注意:1。用于楔入的设备; 2.铁路交叉路口开关的新布置; 3.改进致动和锁定铁路开关的模式,以及在铁路上互锁的点和信号。
机译:用于射频mEms电容开关的替代介电薄膜,使用原子层沉积的al2O3 / ZnO合金沉积
机译:交叉点开关RF MEMS开关矩阵和包含交叉点RF MEMS的交叉点开关
机译:基于MEMS制成的硅膜片并具有电可调开关点的高灵敏度压力致动开关
机译:对电动开关的点锁定控制方式,以产生的行程使开关锁定运动的Y球型曲柄转动的点的锁定控制方式
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