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等离子体增强化学气相沉积系统的温度控制研究

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摘要

介绍了等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),研究分析了基于PLC和触摸屏的系统温度控制方法.该方法提高了PECVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性.

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来源
《弹箭与制导学报》 |2006年第1期|140-141|共2页
作者
高爱华; 刘卫国; 周顺;
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作者单位

西安工业学院光电工程学院,西安,710032;

西安工业学院光电工程学院,西安,710032;

西安工业学院光电工程学院,西安,710032;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类综合业务数字网（ISDN）;
关键词
PECVD; 温度控制; 可编程控制器; 触摸屏; 冗余设计;

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