陶瓷薄膜的气相制备及热力学应用

摘要

综述了通过气相法制备陶瓷薄膜的方法 ,介绍了热力学在薄膜生成时的应用 ,讨论了基片温度和沉积速率对薄膜结构的影响 ,并对薄膜与基片间的结合问题进行了简单论述。