微波等离子体学气相沉积制备SrTiO<,3>陶瓷薄膜

摘要

该研究采用微波等离子体化学气相沉积方法在Al<,2>O<,3>基片上制备了SrTiO<,3>其陶瓷薄膜。实验结果表明当沉积薄膜衬底温度在700℃以上时，可以制备出结晶性较好的具有一定氧敏性的SrTiO<,3>薄膜。