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微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法在Si基片上用乙醇和氢气沉积了金刚石薄膜。沉积前用金刚石微粉研磨基片可以促进金刚石形核。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)观察分析了薄膜的表面形貌及成分组成。

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