電子ビーム蒸着法によるセラミックス薄膜の作製と感湿特性

摘要

本研究室では母体制御型感湿材料のクロム酸鉛及び硫酸鉛を薄膜化するなど，セラミックス材料の感湿特性の改善を行ってきた．本研究では，酸化ジルコニウム（ZrO_2）を電子ビーム蒸着法で薄膜化し，湿度センサへの応用を試みた．