(001)SiO2衬底上LiNbO3光波导薄膜的制备

摘要

采用脉冲激光淀积技术,在(001)取向的SiO2衬底上制备了LiNbO3薄膜.为了防止淀积过程缺氧,往淀积腔内充入10～15Pa的流动氧气,淀积速度0.3～1.0nm/min,淀积时间1h,淀积结束后,充入0.6Pa的氧气,在650℃保温0.5h.采用x射线衍射和扫描电镜对LiNbO3薄膜的微观结构及表面形貌进行了检测.结果表明:LiNbO3薄膜具有(012),(024)典型的LiNbO3粉末晶体衍射峰,薄膜成分晶体结构比较纯净,而且薄膜表面光滑.利用棱镜耦合法将波长为0.638μm的激光束耦合到LiNbO3薄膜中,观察到LiNbO3薄膜具有较好的光波导性能,可望应用于非线性光学器件.