ZnO:Al透明导电薄膜的制备与性能研究

摘要

运用溶胶-凝胶技术,在普通玻璃基片上制备Al3+掺杂的ZnO透明导电薄膜.采用X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和形貌进行了表征,通过紫外-可见吸收光谱和标准四探针法对其光电性能进行了研究.结果表明,采用溶胶-凝胶法制得的ZAO薄膜为纤锌矿型结构,呈C轴方向择优生长;在适宜的条件下,薄膜的可见光透过率达到80%以上;电阻率为3.1×10-3Ω·cm;涂层厚度、预处理温度和热处理温度对薄膜结构和光电性能有较大影响.