用DLTS技术研究MNOS结构界面陷阱

黄君凯; 易清明; 刘涛

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用DLTS技术研究MNOS结构界面陷阱

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提出利用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ）技术研究ＭＮＯＳ结构中界面陷阱的分布，阐述并建立了ＭＮＯＳ结构ＤＬＴＳ存储峰和界面态峰的解析理论，并给出区分这两个谱峰的实验方法对研制的ＭＮＯＳ结构进行的ＤＬＴＳ测量描述了理论结果，所获得的存储陷阱和界面态的分布规律与应用热激电流谱和保留特性方法交叉研究的结果一致上述理论也可用于含有陷阱的其它介质ＭＩＳ结构的ＤＬＴＳ

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来源
《暨南大学学报：自然科学与医学版》|1999年第5期|17-23|共7页
作者
黄君凯; 易清明; 刘涛;
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作者单位

暨南大学电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类基础理论;
关键词
MNOS结构; 界面陷阱; 深能级瞬态谱; 复合介质膜;

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