用于太赫兹成像的CMOS肖特基二极管三维结构研究

摘要

提出了一种简单、科学、有效的高截止频率肖特基势垒二极管设计方法.通过SMIC 180 nm工艺制备的肖特基二极管的截止频率为800 GHz,分析测试结果和仿真数据优化后的肖特基势垒二极管截止频率可以达到1 THz左右.完成了包括天线、匹配电路和肖特基势垒二极管的集成探测器,在220 GHz下其测试响应率可达130 V/W,等效噪声功率估计为400 pW/Hz.完成了陶瓷瓶内不可见液面的成像实验并取得了良好的效果.