基于平面并联机械手的MEMS器件封装系统

摘要

针对微机电系统(MEMS)高精度,高速度和高灵活性的要求,开发了一种具有平面并联结构的机械手代替常用的X-Y平动平台,并引入机器视觉提高系统的灵活性.利用扩展卡尔曼滤波算法估计机械手各关节的初始角位置,从而间接地保证机械手在工作空间内的绝对定位精度.针对任何微机电系统器件,该封装系统本身还被用作测量手段,建立器件的几何模型,为封装离线编程奠定了基础,实现了系统的灵活性和封装效率之间较理想的平衡.