首页> 中文期刊>功能材料 >RF-PECVD法在钢衬底上沉积氮化硅薄膜的研究

RF-PECVD法在钢衬底上沉积氮化硅薄膜的研究

开具论文收录证明 >>

期刊封面封底目录下载 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在钢衬底上沉积氮化硅薄膜.用台阶仪、X射线光电子能谱(XPS)、透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)等手段对薄膜的厚度、成分、结构及形貌进行表征,并探讨了各工艺参数对薄膜沉积速率的影响.

著录项

来源
《功能材料》|2008年第3期|417-419|共3页
作者
杜平凡; 席珍强; 汪新颜; 金达莱; 王勇;
展开▼
作者单位

浙江理工大学,先进纺织材料与制备技术教育部重点实验室,浙江,杭州,310018;

浙江理工大学,材料工程中心,浙江,杭州,310018;

浙江理工大学,材料工程中心,浙江,杭州,310018;

浙江理工大学,材料工程中心,浙江,杭州,310018;

浙江理工大学,材料工程中心,浙江,杭州,310018;

浙江理工大学,材料工程中心,浙江,杭州,310018;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;薄膜的生长、结构和外延;
关键词
氮化硅薄膜; 钢衬底; RF-PECVD; 沉积速率;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用PECVD法在金属衬底上沉积氮化硅薄膜 [J] . 于映 ,陈抗生 . 电子元件与材料 . 1996,第001期
2. 玻璃衬底沉积氮化硅薄膜性能研究 [J] . 张广英 ,吴爱民 ,秦福文 . 哈尔滨工程大学学报 . 2009,第011期
3. PECVD法在聚酰亚胺上沉积氮化硅薄膜的工艺研究 [J] . 吴清鑫 ,于映 ,罗仲梓 . 集美大学学报（自然科学版） . 2005,第002期
4. 蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究 [J] . 宋文燕 ,崔虎 ,苏勋家 . 材料工程 . 2006,第002期
5. 蓝宝石衬底上制备氮化硅薄膜的研究 [J] . 宋文燕 ,刘正堂 ,崔虎 . 兵器材料科学与工程 . 2005,第5期
6. PECVD法在PET基板上沉积氮化硅薄膜的工艺研究 [C] . 桑仁政 ,张浩 ,张建华 . 第七届华东三省一市真空学术交流会 . 2011
7. RF-PECVD法在PMMA上沉积类金刚石碳膜的性能研究 [A] . 周福君 . 2007

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号