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李欣昱; 吴集盾; 黄晓江;
东华大学理学院 上海201620;
双频容性耦合等离子体; 电源接入方式; 单极双频; 双极双频; 电子密度; 电子温度;
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机译:嵌入式射频脉冲对双频电容耦合等离子体中SiO2选择性刻蚀的影响
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