放电参量对NF3容性耦合等离子体电子密度的影响

摘要

反应等离子体在材料制备工艺尤其在刻蚀和沉积方面[ft一得到广泛应用。电子密度是等离子体信息的基础元素，原子的激发、等离子体中物质种类的产生速率都与电子密度有关，同时刻蚀速率、沉积速率也都与电子密度紧密联系，对电子密度的诊断是了解和控制反应等离子体的一个重要问题。在NF3容性耦合等离子体氛围中使用微波共振探针对其电子密度进行测量,获得在NF3等离子体容性耦合放电状态下随上下电极功率的变化规律.结果表明:下电极施加的功率和射频频率对该气氛的电子密度不会有显著改变,而在上电极增加激发功率,电子密度显著增加.