宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜的研究

摘要

Continuously develop along with the high-tech optoelectronics instrument, request instrumental spectrum to use scope more and more breadth, make a high request to thin film characteristic and accuracy of optical component thus, red the outside super bread%高科技光电仪器的不断发展要求仪器的光谱使用范围越来越宽，从而对光学元件的薄膜特性和精度提出了更高的要求，红外超宽带减反膜就是为适应这些需求而开发的一种膜系。宽光谱监控法是镀制高精度红外超宽带减反膜的最合适、最有效的方法之一，本文根据薄膜光学的基本方法，通过膜系设计、实际的制作过程和制作结果，充分证实了这一点。