宽光谱监控法镀制高精度增透膜的研究

摘要

本文介绍了使用宽光谱监控系统镀制增透膜的基本原理和技术特点。给出了针对不同的膜层特性计算评价函数的方法,分别为能量法和特征点法,能量法适合膜层的光学特性对每一个波长点的权重要求都是一样的,特征点法适合于只对膜层光学特性的某几个特定波长的要求较高,并根据膜料光学参数的特性,分别设置权重因子,其它波长忽略不计。用工艺曲线代替理论设计曲线作为目标曲线,解决实际镀制的光谱特性与理论值存在偏差的问题,使评价函数的极小值趋近于零,达到最佳膜厚。这种简单而准确的方法对于提高宽带增透膜镀制精度和成品率有显著的效果,具有实际的应用价值。