离子源辅助红外探测器窗口减反膜的制备

冯利; 傅晶晶

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离子源辅助红外探测器窗口减反膜的制备

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硫化锌(ZnS)作为红外探测器窗口广泛地应用于红外技术中,为了提高ZnS在7～12 μm 使用波段的光学透过率和机械强度,选择YF3和YbF3两种红外低折射率膜料分别与ZnS进行匹配,设计并在离子源的辅助下制备出了两种该波段的红外减反膜,并进行了性能的对比.结果显示两种膜系在要求范围内都达到了平均90%的光学透过率,但是YF3-ZnS减反膜的机械强度相比YbF3-ZnS减反膜较差.

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来源
《激光与红外》|2010年第8期|880-883|共4页
作者
冯利; 傅晶晶;
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作者单位

福建农林大学,福建,福州,350002;

中国科学院福建物质结构研究所,福建,福州,350002;

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正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
红外减反膜; 离子辅助沉积; 光学监控; 红外探测器窗口;

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