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基于隧道效应的微机械角速率传感器

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摘要

提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案,还针对隧穿检测和电容检测进行了比较.并指出基于隧道效应的微机械角速率传感器将极大提高传感器的灵敏度.

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来源
《中国惯性技术学报》 |2000年第4期|75-79|共5页
作者
裘安萍; 苏岩; 周百令;
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作者单位

东南大学,江苏,南京,210096;

东南大学,江苏,南京,210096;

东南大学,江苏,南京,210096;

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正文语种 chi
中图分类导航仪表及传感器;
关键词
隧道效应; 微机械; 角速率传感器;

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