多晶硅表面微机械光学角速率传感器

摘要

多晶硅表面微机械技术是微机电系统(Microeletromechanical Systems,MEMS)中重要的加工技术.本文采用这种加工技术,提出了一种基于Sagnac效应的新型微机械光学角速率传感器(Optical Rotation Sensor,ORS).由于采用MEMS的最新技术,它将是一种低成本、微型化的ORS.文中给出了ORS中环形谐振腔的设计和基本理论分析,并提出了电路和控制系统的设计.同时完成了ORS关键光学器件--可移动微反射镜的设计和研制工作.