一种基于剪切型声表面波陀螺效应的角速率传感器

摘要

本文研制了一种80MHz SH-SAW角速率传感器。具有单向结构的双延迟线反向设置于同一基片作为振荡器的反馈单元。利用精确旋转台系统对传感器性能进行了初步评价。