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基于定量原子像图像分析的InSb/GaAs半导体界面原子结构模型

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基于定量原子像图像分析的ＩｎＳｂ／ＧａＡｓ半导体界面原子结构模型王绍青，孟祥敏，谢天生，褚一鸣（中科院金属所固体原子像实验室，沈阳１１００１５）（中科院北京电子显微镜实验室，北京１０００８０）由于ＩｎＳｂ／ＧａＡｓ半导体材料在半导体器件研制与生产中的...

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来源
《电子显微学报》 |1994年第6期|461|共1页
作者
王绍青;
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作者单位

不详;

不详;

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正文语种 chi
中图分类化合物半导体;
关键词
半导体材料; 砷化镓; 铟锑; 晶体结构; 原子像图像;

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