用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路

摘要

@@ 用普通扫描电子显微镜(SEM)只能观测样品的表面形貌,不能观测到隐藏在表面绝缘层下面的半导体材料和集成电路的微结构.在普通的SEM中安装了我们研制成功的透表面检测仪后就可以突破普通的SEM只能观测样品表面形貌的限制,透过表面绝缘层透视到下面的半导体材料的缺陷和集成电路的微结构.我们在本文中首次公布用改装的SEM观测到该绝缘层下面的半导体材料缺陷的微结构(图1).