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微波等离子体CVD金刚石膜的温度效应

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采用微波等离子体CVD法,在其它生长务件和参数不变情况下,研究温度对制备金刚石膜的影响.通过扫描电镜、X射线衍射分析仪和拉曼光谱对样本的形貌和金刚石膜的质量进行了表征.

著录项

来源
《常熟理工学院学报》 |2011年第4期|32-34|共3页
作者
顾利萍; 曹永浩; 熊安邦;
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作者单位

常熟理工学院,物理与电子工程学院,江苏常熟,215500;

江苏省新型功能材料重点建设实验室,江苏常熟,215500;

常熟理工学院,物理与电子工程学院,江苏常熟,215500;

常熟理工学院,物理与电子工程学院,江苏常熟,215500;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学 ;
关键词
微波等离子体CVD; 金刚石膜 ; 温度;

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