Department of Materials, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China;
diamond film; MPCVD; residual stress; texture; ODf;
机译:基板夹持器设计对微波等离子体辅助CVD生长大面积多晶金刚石薄膜应力和均匀性的影响
机译:微波等离子体增强CVD和RF等离子体增强CVD法沉积类金刚石碳膜的磨损寿命评估
机译:大面积表面波模式微波等离子体CVD生长的类金刚石碳薄膜:载物台距微波窗口的影响
机译:微波等离子体CVD金刚石薄膜的残余应力分析
机译:类热等离子体放电对金刚石薄膜的微波辅助等离子体CVD
机译:新型金刚石薄膜合成策略:无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛
机译:钻石电影的特殊问题/沉积方法,表征和应用。使用磁性活性等离子体CVD和微波等离子体CVD沉积金刚石膜。
机译:微波等离子体在丙酮/氧气和丙酮/二氧化碳混合物中生长的CVD金刚石