公开/公告号CN106686876A
专利类型发明专利
公开/公告日2017-05-17
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳优普莱等离子体技术有限公司;
申请/专利号CN201710163982.X
申请日2017-03-20
分类号H05H1/46;
代理机构
代理人
地址 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技园中区科苑路科兴科学园A1栋601
入库时间 2023-06-19 02:09:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):H05H1/46 申请日:20170320
实质审查的生效
2017-05-17
公开
公开
机译: 微波导入机构,微波等离子体源和微波等离子体处理装置
机译: 微波导入机构,微波等离子体源和微波等离子体处理装置
机译: 微波导入机理,微波等离子体源和微波等离子体处理装置