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KhachJ; 刘世权; 等;
不详;
微波等离子体源; CVD; 金刚石沉积; 薄膜;
机译:新型高性能微波低压等离子体源沉积的合金化氢化类金刚石碳薄膜
机译:微波等离子体源,用于制造电子设备的微晶和纳米晶金刚石薄膜
机译:一种具有独特结构的新型微波等离子体反应器,用于化学气相沉积金刚石膜
机译:简单的微波产生等离子体源,用于金刚石薄膜合成
机译:确定适用于金刚石沉积的电子回旋共振微波等离子体的化学成分。
机译:He / H2 / CH4 / N2混合物的微波等离子体化学气相沉积法沉积超光滑纳米结构金刚石(USND)涂层的合成及机械磨损研究
机译:磁性增强空心阴极 - 一种用于高速沉积过程的新型等离子体源
机译:用于金刚石薄膜大面积化学气相沉积的高密度等离子体源
机译:磁性增强的高密度等离子体 - 化学气相沉积等离子体源用于沉积金刚石和金刚石薄膜
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